信光制御デバイス研究室（山田研究室）
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キーワード ： 半導体プロセス技術、微細周期構造、光デバイス 担当者 ： 山田 逸成 理工学部 電気電子工学科 （准教授） |
研究の内容
機器の高機能化に伴い、様々なデバイスの製造における省エネ化・省プロセス化技術、低コスト化が望まれています。当研究室では、光デバイスの高機能化に必要な微細構造の形成を高価なドライエッチング装置等を使用することなく、容易に形成する技術（干渉露光法、インプリント法、ゾル-ゲル法、電気化学処理等）を確立し、その技術を活用して偏光素子や、反射防止、波長フィルタ等の設計・作製・評価を行っています。その一例として、干渉露光法で得られるレジストパターンをシリコーンに構造を転写し、さらにそれを型としてゾル-ゲル法とインプリント法等を併用して（図1）、狭周期構造を要するワイヤグリッド偏光子（図2）や、回折効率の高い回折格子等の作製を行うことができています。 ．
産学連携・社会連携へのアピールポイント
サブミクロンの微細構造を形成する際、主として半導体プロセスが用いられますが、形成に要する機器・装置を備えることはそう容易ではありません。当研究室では、ドライエッチング装置のような高価な装置を用いることなく、サブ波長周期の構造を形成し、様々な光デバイスの開発を行っています。興味がありましたら、お気軽にお問い合わせください。
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