SEC Video Library, そのほか　第16回 三重大学ナノテクベンチャークラブ招待講演会
　 「イオンビームでナノの世界を測定する」(2/3) 低速イオンビームによる高分解能スパッタ深さ方向分析（次へ）

主催：三重大学ナノテクベンチャークラブ　講師：摂南大学 工学部 電気電子工学科　井上雅彦　（2009.06.24，三重大学ＶＢＬ）

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第16回 三重大学ナノテクベンチャークラブ招待講演会　「イオンビームでナノの世界を測定する」

ー 後段減速型低速イオン銃とＣ60クラスターイオン銃の開発 ー

（1 / 3）イオンビームと固体表面との相互作用（20分33秒）
（2 / 3）低速イオンビームによる高分解能スパッタ深さ方向分析（15分40秒）
（3 / 3）Ｃ60クラスターイオン銃の開発（20分04秒）
参考資料（ 1.1 MB ）
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